孔位精度无法达到品质之要求、或是因为异常而导致精度恶化的现象。精度是以孔位精度测量仪来做确认。
正常
不良
| 异常原因 | 异常之状态 | 对策 |
|---|---|---|
| 钻头刚性低 | 孔位精度整体不良 | 变更芯厚、芯厚倒锥来提高钻头刚性 使用孔位精度重视型钻头 |
| 容屑沟之空间小 | 塞孔、孔位精度恶化 基板与上盖板之前如有粉屑残留会导致孔位更加恶化 |
变更芯厚、芯厚倒锥、沟巾比来增大容屑沟之空间 |
| 沟长，本体长过长 | 沟长、本体长超过所需长度的话，易发生弯曲量过大致孔位精度恶化 | 设定适当之沟长、本体长 |
| 钻头形状设计不符需求（钻尖角、螺旋角等） | 钻头形状不适用于基板设定・加工条件・设备条件上，导致孔位精度恶化 | 钻头形状的最适化（依条件选定适合之形状） |
| 超硬材料使用不符需求 | 磨耗量大，致切削性能下降，导致精度恶化 | 使用注重耐磨耗的超硬材料 |
| 异常原因 | 异常之状态 | 对策 |
|---|---|---|
| 钻尖刀面呈不平衡状态（长短刃偏芯、高低差偏芯、缺口、单面大头、单面小头等） | 从基板叠板的面板起就有发生孔位精度恶化 | 加工前钻头刀面形状之确认 |
| 再研磨品质之异常（内容：同上） | 从基板叠板的面板起就有发生孔位精度恶化 | 加工前钻头刀面形状之确认 |
| 异常原因 | 异常之状态 | 对策 |
|---|---|---|
| 进刀量太大 | 因切削粉屑排出性差或钻尖崩角导致孔位精度恶化 | 选定适当之进刀量（参照加工条件表） |
| 进刀量太小 | 因过度磨耗、导致孔位精度恶化 | - |
| 转速太低 | 因切削抵抗增加使钻头负荷增加、导致孔位精度恶化 | 选定适合之转速（参照加工条件表） |
| 转速太高 | 因摩擦热增大而发生切屑溶附与钻头、导致孔位精度恶化 | - |
| 寿命设定（孔数）过多 | 因过度磨耗、导致孔位精度恶化 | 设定适当之孔数 |
| 再研磨次数过多 | 因钻尖刃部外周磨耗过度导致孔位精度恶化 | 设定适当之再研磨次数 |
| 异常原因 | 异常之状态 | 对策 |
|---|---|---|
| 叠板数过多 | 随着叠板数增加钻头的弯曲量亦会增加、导致精度恶化（叠板之底板精度最差） | 选定适当之叠板数（能满足品质要求之叠板数） |
| 铜箔层数较多或内层铜箔较厚 | 对钻头之负荷增大、磨耗过度导致精度恶化 | 降低叠板数、孔数来减轻对钻头之负荷 使用套钻2次加工（Double drilling） |
| 较难切削之基板（玻纤、树脂） | 对钻头之负荷增大、因磨耗过度或钻尖崩角导致精度恶化 | 降低叠板数、孔数来减轻对钻头之负荷 |
| 上盖板选用不适当 | 对于有品质要求之加工，上盖板性能不足、就无法得到良好的孔位精度 而且、基板越厚对孔位精度影响越大 |
使用树脂铝片或多层铝等高品质之上盖板 选定适合厚度之上盖板 |
| 上盖板表面有刮痕、异物 | 受到上盖板凹凸不平的影响，易发生钻头弯曲导致精度恶化 | 注意上盖板之管理 确认主轴压脚是否平整等 |
| 下垫板选用不适当 | 硬度太高使钻头磨耗加剧，导致孔位精度恶化 | 选定适当之硬度 |
| 基板设定状态异常 | 基板固定不稳定、导致精度恶化 | 确认固定PIN以及贴固定胶带状态 不要有上盖板浮起或刮痕现象 |
| 基板（玻纤、铜箔）的凹凸、弯曲、刮痕 | 若基板有弯曲，表面刮痕，加工时定位性会变差，导致精度恶化 | 确认基板品质 |
| 基板品质异常 | 因基材内部树脂、玻纤之不均一性，引发偏孔 | 确认基板品质 （例）用孔位测定机的精度确认画面可确认基板的不均一状态→明显的条纹状等 |
| 异常原因 | 异常之状态 | 对策 |
|---|---|---|
| 主轴的摆动 | 动态摆动过大、使精度恶化 | 对主轴摆动（Runout）进行管理（定期保养・维修） 管理值：10µｍ以下、加工ø0.3以下建议控制在5µｍ以下 |
| 钻孔机异常 | 常年使用后因螺杆、滑轨等老旧而使精度恶化 | 钻孔机之定期保养 对机械精度进行确认、检修 |
| 集尘吸力不适当 | 吸力太强的话、上盖板易被吸起、粉屑会进入上盖板和基板之间、造成钻孔时定位变差。 而吸力太弱的话、会使粉屑排出性能降低造成塞孔 |
设定合适之集尘吸力（建议管理值ø0.4：100～150hPa、ø0.1：70～140hPa） 集尘机之定期保养 |
| 压脚压力不适当 | 压力太弱的话、压力脚与基板间的密着性会降低、容易引发积粉问题从而导致精度恶化 | 设定合适之压脚压力（依条件不同最适值亦不同。建议管理值：100～150N左右） |
| 压脚内径不适当 | 压脚内径太大，粉屑无法很好排出导致精度恶化 | 使用小压脚 （例）ø10mm变更为ø3mm |
| 压脚表面不平 | 压脚表面不平、压到已断的针尖或是有异物附着、都会致压脚表面不平整而造成精度恶化 | 确认压脚和台面的平行度 使用PV Checker确认压脚平整度 （确保压脚面有80%以上的平整度） |
