孔位精度评价,是测量钻头加工的钻孔位置的偏移度。
・使用光学系统的孔位精度测量仪进行测量。
・测量每支钻头的所有钻孔。
・在多片叠板加工的情况下,测量最底下基板背面的孔位偏移度。
・使用以下重心补正法进行测量。
・测量结果根据“最大位置偏移度(Max)”、“平均值+3s(Ave+3s)”、“Cpk值”等进行解析。
・“平均值+3s(Ave+3s)”的“s”表示标准偏差值。
为了抵消钻孔机定位精度等外部因素造成的偏移度,如下图所示,通过将钻孔位置偏移度的数据群的重心作为原点(0,0)进行重心修正处理,并进行评价。
无补正情况下的孔位分布图
有补正情况下的孔位分布图