加工尺寸精度无法满足要求品质的状态,或者不良导致异常恶化的状态。
使用卡尺,千分尺,工具显微镜,画像测量机确认。
加工基板切片
取下切片测量尺寸
异常原因 | 异常之状态 | 对策 |
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铣刀刚性低 | 铣刀容易弯曲,加工尺寸精度恶化 | 加大芯厚 |
刃长过长 | 刃长超过需要的长度,弯曲变大导致加工尺寸精度恶化 | 按基板叠片数选定适合的刃长 |
调整切入量使铣刀根部也能够加工 |
异常原因 | 异常之状态 | 对策 |
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进到速度快 | 铣刀受到的径向荷重变大,容易弯曲导致加工尺寸精度恶化 | 降低进刀速度 |
异常原因 | 异常之状态 | 对策 |
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基板的波动 | 基板固定不足时,加工中基板移动加工精度变差 | 紧固地固定基板(使用固定钉及胶纸确实地进行固定) |
叠片数多 | 叠片数越多弯曲会增加,精度恶化 | 选定适当的叠片数(满足要求品质的叠片数) |
异常原因 | 异常之状态 | 对策 |
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主轴摆动大 | 摆动导致加工尺寸恶化 | 实施钻主轴的维修(夹头等) |
台面的不良 | 螺丝,导轨的动作变差,精度恶化 | 保养台面 |